泛林介绍世界首款半导体制造设备维护专用协作机器人 Dextro，已获多家晶圆厂应用

最新消息显示，Lam Research 泛林集团近日推出了全球首款专为半导体制造设备维护而设计的协作机器人Dextro。据介绍，该机器人目前已在全球多家先进晶圆厂投入应用。

Dextro 协作机器人是一款安装在推车上的可移动机械臂装置，由制造技术人员或工程师控制。利用各种“手部工具”，Dextro能够高度精准地完成以下三项关键设备维护任务：

• 2倍精度完成易损件的安装和压缩，相比人手操作；

• 准确拧紧高精度真空密封螺栓，减少人工操作的5%错误率；

• 自动化去除腔室侧壁上的聚合物堆积，无需拆卸腔室，以前需要人员佩戴重型呼吸防护设备才能执行此任务。

这意味着Dextro 可以帮助晶圆厂工程师承担那些耗时、容易出错或危险的维护任务，提高整体工艺精确度，减少劳动力需求，降低浪费，并缩短停机时间，从而提升晶圆厂的产能。

据泛林透露，单个Dextro 协作机器人可为50至100个泛林工具腔室提供服务，目前已在旗下Flex G / H系列介电刻蚀工具中投入使用，预计从2025年开始将应用于其他工具和场合。

三星电子副总裁兼内存蚀刻技术团队负责人Kim Young Ju先生表示：

在制造设备维护时，必须快速高效地完成工作，以避免拖延工具停机时间和浪费成本。

Dextro的无差错维护有助于改善生产的可变性和产量。这是三星朝着自动化工厂迈出的重要一步。

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