让先进制程更环保：日本纸业巨头王子控股进军 2nm 木基光刻胶

日本有一家纸业巨头公司王子控股（Oji Holdings）正在计划转型为木制材料综合企业，目前该公司的最新项目是研发一种使用木基生物质材料的正性光刻胶，计划在2028年实现商业化。

王子控股的光刻胶生产技术路线是从木材中提取可用于光刻胶的前体材料，然后混合并聚合这些前体材料与特定溶剂（同时采用净化技术去除杂质），从而制得光刻胶成品。据称，王子控股的木基光刻胶可以满足2nm的先进工艺需求。

传统的正性光刻胶通常需要添加有害的PFAS等“永久化学品”以增加光敏度，而与传统产品相比，王子控股的木基光刻胶在EUV极紫外光下的降解速率高出8倍，无需使用PFAS，环保性更佳，同时可以提高先进工艺的图案质量。

此外，传统光刻胶多为石油基塑料，而木基光刻胶则能减少温室气体的排放。

据王子控股表示，他们在木基光刻胶上的商业目标是在本世纪30年代实现每年100亿日元的销售额（当前约4.67亿元人民币）。

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